| Turbo Molecular Vacuum Pump 초고진공영역 |
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| 터보(T)350iX |
TURBOVAC MODEL은 진공펌프(BACKING)의 배기속도를 증가시키기 위한 보조펌프다.
적용사례: 고진공라인 즉 진공열처리,초저온탱크,동결건조,진공건조 등
| MODEL | 90 i(X) | 250 i(X) | 350 i(X) | 450 i(X) |
| N2 | 90 l/s | 225 l/s | 290 l/s | 430 l/s |
| Ar | 83 l/s | 210 l/s | 260 l/s | 400 l/s |
| He | 90 l/s | 250 l/s | 360 l/s | 440 l/s |
| H2 | 78 l/s | 210 l/s | 350 l/s | 420 l/s |
| POWER | 240 W | 240 W | 240 W | 240 W |
| PUMP | D2.5E/D4B | D2.5E/D4B | D4B | D4B |
| PUMP | SC5D | SC5D/15D | SC5D/15D | SC5D/15D |
| PUMP | 1.4HVS | 3.8HVS | 3.8HVS | 3.8HVS |